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数字式质量流量控制器 SEC-N100
HORIBA STEC致力于质量流量计的发展,为优良的制造工艺,包括半导体、光电和LED的制造提供服务,并将继续开发新的产品来满足客户的需求.
质量流量控制器 SEC-400系列
它是搭载有温控阀的基本型号。
利用小型装置的SEC-310,可以进行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且,利用SEC-623可以进行小于200SLM的大流量控制。
高精度型号:SEC-405可以进行±0.5%F.S.的流量控制。
特征
 可对应±0.5%F.S.:SEC-405(气体种类限定)
同系列产品,从0.1CCM至200SLM(N2)都可进行流量控制
实现面间距离106mm: SEC-300型式
质量流量控制器 SEC-E系列
所谓质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置。流体的流量计测通常可分为体积流量和质量流量。体积流量由于受到计测时环境温度和压力的影响,如需要准确测定时,必须对温度和压力进行调整。而质量流量计在测定流体质量的时候,不容易受到环境温度和压力等外在因素的影响而能准确地进行流体测量。在必须对流量进行精确计测和控制的领域,质量流量控制器被广泛的使用,例如半导体工业、太阳能光电工业和微加工制造业等。
特征
适用于宽广范围的流量控制,其控制范围可以从0.2 SCCM到500 SLM(以N2为标准)
被广泛的使用于全球的制造业,从一般工业到高科技产业。
质量流量控制器 SEC-E400J系列
概要
作为提高生产的必要因素、制造设备的高性能化和小型化、低成本化等正日益受到关注。这些要求对气体供给系统,也就是被称为关键设备的质量流量控制器来说有很紧密的联系。而批量使用搭载了在成本表现方面优势明显的电磁阀的质量流量控制器,则可完全符合制程要求。 
特征
采用金属密封垫圈
可对应腐蚀性气体
搭载异常报警功能
警报输出功能为其标准搭载
SEC-Z500X系列多种气体及多种流量范围数字式质量流量控制器
主要特性
1) 多种气体及多种流量范围, 可以自由地指定气体类型及更改满量程流量, 现场设定;
2) 超高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速响应:< 1秒 (全量程范围内,任意设置点);
4) 非常方便的现场设置操作;
5) 多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器,可以很大限度地减少库存;
6) 与现有模拟式质量流量控制器完全兼容;
7) 模拟通信与数字通信(DeviceNet)可同时进行;
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