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反应腔室排气压力控制器 EC-5000系列
EC-5000 系列产品是由一套排气压力控制器所组成,此装置可保证反应室的压力值始终稳定在客户要求的设定范围。高分辨度的步进式马达和独特的蝶形阀设计确保了本产品的高速、高分辨度响应。
数字式自动压力调节器 UR-Z700 系列
概要
UR系列产品为使用高精度压力传感器及高效,响应迅速压电陶瓷阀的数字式调节器。它们能控制收到的相关的外部控制信号。气体接触面的全金属制造,使这些单元能够在超纯的气体供应系统里进行理想的纯净的压力控制。
HORIBA STEC的质量流量控制器在其精密液体流量控制里是非常有名的,以及拥有世界最大的市场份额。
特征
可使用DeviceNet控制接口
符合官方环保要求的RoHS处理
压电阀 PV 系列
概要
PV-1000/2000系列由陶瓷晶体阀和金属主体和金属密封圈组成,再由压力传感器或流量传感器和一个比率控制器来进行压力控制或流量控制。陶瓷晶体驱动阀:陶瓷晶体阀系列根据外部单元控制信号来实现压力控制功能。压力信号来自压力传感器外部控制信号单元PCU-1000/2000,控制单元会通过节内部电路计算出最佳的控制方式并输出给陶瓷晶体阀来实现压力控制。且PCU-2100同时具有压力控制信号设定功能。
自动增压器UR-7300 系列
特征
超洁净处理:所有的金属部件 (金属型号)
快速反应:反应速度小于0.5秒
这些调节器可以以任何姿态安装在任何位置,使用电子信号进行控制的它们,可以广泛的适用于各种气体供应系统。
本系列产品既有进气端控制型号(-B type),也有出气端控制型号。
可选择相对压强型,或者绝对压强型
当压力源发生改变的时候,可以实现快速、准确的压力调整。特别是压力源突然变化的时候,这种快速准确的反应尤为重要。带有压力调整设备的话,由于提供了反应灵敏和压力可调整地特性,可以有效的控制质量流量控制器内的次级压力。此外,在一些非常小的流量范围,如果压力调整分辨率不够高,也容易产生振荡现象。高精度、高反应速度的UR系列产品为大家解决了这个问题,提供了准确和稳定的压力控制。
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