产品中心
数字式质量流量控制器 SEC-N100
HORIBA STEC致力于质量流量计的发展,为优良的制造工艺,包括半导体、光电和LED的制造提供服务,并将继续开发新的产品来满足客户的需求.
反应腔室排气压力控制器 EC-5000系列
EC-5000 系列产品是由一套排气压力控制器所组成,此装置可保证反应室的压力值始终稳定在客户要求的设定范围。高分辨度的步进式马达和独特的蝶形阀设计确保了本产品的高速、高分辨度响应。
BHF浓度计 CS-137
CS-137 高精度化学药液浓度计专为半导体制造时清洗制程中所使用的BHF 溶液而设计。实现了过去所没有的高速响应性和小巧化,可用于监测硅氧化膜的蚀刻以及晶片表面的微粒清除作业时所使用的BHF 溶液(NH4F/HF/H2O)中的各成分浓度。
质量流量控制器 SEC-400系列
它是搭载有温控阀的基本型号。
利用小型装置的SEC-310,可以进行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且,利用SEC-623可以进行小于200SLM的大流量控制。
高精度型号:SEC-405可以进行±0.5%F.S.的流量控制。
特征
 可对应±0.5%F.S.:SEC-405(气体种类限定)
同系列产品,从0.1CCM至200SLM(N2)都可进行流量控制
实现面间距离106mm: SEC-300型式
质量流量控制器 SEC-E系列
所谓质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置。流体的流量计测通常可分为体积流量和质量流量。体积流量由于受到计测时环境温度和压力的影响,如需要准确测定时,必须对温度和压力进行调整。而质量流量计在测定流体质量的时候,不容易受到环境温度和压力等外在因素的影响而能准确地进行流体测量。在必须对流量进行精确计测和控制的领域,质量流量控制器被广泛的使用,例如半导体工业、太阳能光电工业和微加工制造业等。
特征
适用于宽广范围的流量控制,其控制范围可以从0.2 SCCM到500 SLM(以N2为标准)
被广泛的使用于全球的制造业,从一般工业到高科技产业。
质量流量控制器 SEC-E400J系列
概要
作为提高生产的必要因素、制造设备的高性能化和小型化、低成本化等正日益受到关注。这些要求对气体供给系统,也就是被称为关键设备的质量流量控制器来说有很紧密的联系。而批量使用搭载了在成本表现方面优势明显的电磁阀的质量流量控制器,则可完全符合制程要求。 
特征
采用金属密封垫圈
可对应腐蚀性气体
搭载异常报警功能
警报输出功能为其标准搭载
SEC-Z500X系列多种气体及多种流量范围数字式质量流量控制器
主要特性
1) 多种气体及多种流量范围, 可以自由地指定气体类型及更改满量程流量, 现场设定;
2) 超高精度:±1.0% S.P. (25-100% F.S.); ±0.25% F.S. (≤25% F.S.);
3) 快速响应:< 1秒 (全量程范围内,任意设置点);
4) 非常方便的现场设置操作;
5) 多种气体及多种流量范围能力集成于一颗质量流量控制器,可以很大限度地减少库存;
6) 与现有模拟式质量流量控制器完全兼容;
7) 模拟通信与数字通信(DeviceNet)可同时进行;
数字式自动压力调节器 UR-Z700 系列
概要
UR系列产品为使用高精度压力传感器及高效,响应迅速压电陶瓷阀的数字式调节器。它们能控制收到的相关的外部控制信号。气体接触面的全金属制造,使这些单元能够在超纯的气体供应系统里进行理想的纯净的压力控制。
HORIBA STEC的质量流量控制器在其精密液体流量控制里是非常有名的,以及拥有世界最大的市场份额。
特征
可使用DeviceNet控制接口
符合官方环保要求的RoHS处理
压电阀 PV 系列
概要
PV-1000/2000系列由陶瓷晶体阀和金属主体和金属密封圈组成,再由压力传感器或流量传感器和一个比率控制器来进行压力控制或流量控制。陶瓷晶体驱动阀:陶瓷晶体阀系列根据外部单元控制信号来实现压力控制功能。压力信号来自压力传感器外部控制信号单元PCU-1000/2000,控制单元会通过节内部电路计算出最佳的控制方式并输出给陶瓷晶体阀来实现压力控制。且PCU-2100同时具有压力控制信号设定功能。
自动增压器UR-7300 系列
特征
超洁净处理:所有的金属部件 (金属型号)
快速反应:反应速度小于0.5秒
这些调节器可以以任何姿态安装在任何位置,使用电子信号进行控制的它们,可以广泛的适用于各种气体供应系统。
本系列产品既有进气端控制型号(-B type),也有出气端控制型号。
可选择相对压强型,或者绝对压强型
当压力源发生改变的时候,可以实现快速、准确的压力调整。特别是压力源突然变化的时候,这种快速准确的反应尤为重要。带有压力调整设备的话,由于提供了反应灵敏和压力可调整地特性,可以有效的控制质量流量控制器内的次级压力。此外,在一些非常小的流量范围,如果压力调整分辨率不够高,也容易产生振荡现象。高精度、高反应速度的UR系列产品为大家解决了这个问题,提供了准确和稳定的压力控制。
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