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FTIR气体分析仪 FG-100A 系列
特征
■可以按照0.6秒的间隔进行数据采样。
检测时,如果选择“速度优先模式”,则可以按照1秒以下的周期,进行数据采样。
在短时间内就结束以及详细确认条件变更时的废气变化情况等场合是有效的。
※ 根据检测条件将会有所不同。
■具有无与伦比的使用便利性、小巧型设计。
它达到了行业内最小的小巧尺寸。在现场中容易进行设置・移动,这将进一步扩大它的分析用途。
■具有单检测池和双检测池这两种类型。
备有单检测池类型和双检测池类型这两个种类。双检测池类型在除害装置的IN/OUT这2点等进行检测浓度大幅不同的检测点,可以通过单按式切换方式进行连续检测。不需要更换检测池,可以进行高效的气体分析。
IPA 气体浓度计 IR-150AS
概要
 HORIBA运用其气体分析技术和在清洗制程的经验开发了新型气体浓度计。多年以来,HORIBA一直将其技术运用于诸如SC-1和SC-2等化学药液浓度计、质量流量控制器和各种液体供应系统的开发与生产。气体浓度计使得HORIBA过程控制产品列阵得以完善,可根据客户要求提供完整的过程解决方案。
特征
在线安装提供实时测量。
尺寸紧凑易于整合。
可用于各种清洗设备和干法制程中的浓度监测。
高敏度氨气浓度计CG-1000
概要
监测无尘室中光刻区域的大气环境是防止外来颗粒物和HAZE的第一步
随着半导体制程中日益增长的监测需要,对生产流程的控制更严格的控制正变得非常的必要,特别是对现有的光刻制程,需要有非常严格的气体环境监测。在光刻工业中,对氨气的追踪控制非常重要,因为它是HAZE的主要成因。HAZE会在掩模版表面生成外来颗粒物,并遮挡曝光单元的内部光镜。为了追踪这个由超低氨气浓度引发的问题,进行实时的监测非常必要, Horiba用CG-1000,氨气追踪监测仪满足了这一重要需求。CG-1000设备以CRDS检测技术为特点,专为在线使用所研发.。
CRDS(Cavity Ring Down Spectroscopy)CRDS 方法使用成数量的高效反光镜在一个光学腔内捕捉激光,然后监测从光学腔中逃出的光的衰退时间。这使任何在光学腔中可被吸收的样品都可被测量。CRDS使用一条长度几公里的光路,这可以使测量的精度达到相当高的程度。而且,正因为本方法测量的是光的衰退时间, 它的优点就是可以不受激光光强波动的影响。基于此原因,CRDS提供了简单的操作性以及强大的功能性。
IPA 气体浓度计 IR-150AS
概要
 HORIBA运用其气体分析技术和在清洗制程的经验开发了新型气体浓度计。多年以来,HORIBA一直将其技术运用于诸如SC-1和SC-2等化学药液浓度计、质量流量控制器和各种液体供应系统的开发与生产。气体浓度计使得HORIBA过程控制产品列阵得以完善,可根据客户要求提供完整的过程解决方案。
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